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常州大学学报(自然科学版)[ISSN:2095-0411/CN:32-1822/N]

卷:

期数:

2002年04期

页码:

47-49

栏目:

出版日期:

2002-12-25

文章信息/Info

Title:

Stress Calculation of Pressure Sensor

作者:

周　倜¹ ;  李　格² ;  李金华¹

1.江苏石油化工学院功能材料实验室, 江苏常州213016;2.江苏石油化工学院

Author(s):

ZHOU Ti ¹ ;  LI Ge ² ;  LI Jin -hua ¹

1 .Functional Materials Laboratory , Jiang su Institute of Petrochemical Technology , Changzhou 213016 , China ;2 .Jiangsu Institute of Petrochemical Technology

关键词:

壳理论; 压力传感器; 应力计算

Keywords:

plate -shell theory ; stress calculation ; pressure sensor

分类号:

O 343.9 ;O 484.2

文献标志码:

A

摘要:

从弹性力学的板壳理论出发, 对不同参数的凸型板结构形变膜受压后的应力分布作了近似计算, 为高线性度SOI 压力传 感器的芯片设计提供了理论指导。用BESOI 技术研制的凸型板结构集成压力传感器的非线性度达0.09 %, 样品灵敏度的实测 值与应力计算理论值的差别约17 %。

Abstract:

The stress distribution on the convex plate of different sizes under uniform pressure w as calculated approximately by plate -shell theory of elastic -mechanics .It could provide a theoretical guide for chip design of hig h linearity pressure sensor .A BESOI pressure sensor with un -linearity of 0.09 %w as prepared on a convex beam , the dif ference of the output sensi tivi ty betw een theoretical calculation and the measurement result w as about 17 %.

备注/Memo

备注/Memo:

作者简介:周倜(1946 -), 男, 江苏无锡人, 副教授。

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更新日期/Last Update: 2002-12-25