[1]袁宁一,李　格,李金华,等.侧孔式微型传声器设计及模拟[J].常州大学学报(自然科学版),2003,(04):44-46.
　YUAN Ning -yi,LI Ge,LI Jin -hua,et al.Design and Simulation of the Microphone with Side-holes[J].Journal of Changzhou University(Natural Science Edition),2003,(04):44-46.
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侧孔式微型传声器设计及模拟()
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常州大学学报(自然科学版)[ISSN:2095-0411/CN:32-1822/N]

卷:
期数:
2003年04期
页码:
44-46
栏目:
出版日期:
2003-12-25

文章信息/Info

Title:
Design and Simulation of the Microphone with Side-holes
作者:
袁宁一1 ;  李　格2 ;  李金华1 ;  何云松2
1.江苏工业学院信息科学系, 江苏 常州 213016;2.江苏工业学院
Author(s):
YUAN Ning -yi1 ;  LI Ge2 ;  LI Jin -hua1 ;  HE Yun -song2
1 .Department of Info rmation Science , Jiangsu Poly technic University , Changzhou 213016 , China
关键词:
微传声器; 侧孔式结构; 机械灵敏度; 频率响应
Keywords:
microphone ; side -hole st ructure ; mechanical sensitivity ; f requency responsivi ty
分类号:
T P 212.1 ;TM 22.1
文献标志码:
A
摘要:
提出了一种新的微型传声器电容结构, 即侧孔式微传声器。侧面开孔一方面降低了振膜的初始应力, 提高振膜的机械灵 敏度。另一方面, 侧面开孔可以减小气流阻力, 提高微传声器的频率宽度, 同时避免了背孔结构可能带来的” 软背极板” 效 应。使用有限元分析软件ANSYS 和MATLAB 软件对侧孔式微传声器的机械灵敏度和频率响应进行了理论模拟。
Abstract:
The microphone with side -holes was designed and simulated .On one hand , the hole made on side decreased the initial stress , and increased the mechanical sensitivity of the diaphragm .On the other hand , the side -hole reduced the lacuna damp , and enlarged the frequency range according to flat frequency response , without the hole in back -plate .Different from the microphone with back hole , the “sof t back -plate” would be completely avoided in side -hole design .

参考文献/References:

[1] 宁瑾, 刘忠龙, 赵慧.电容式微传声器的制备研究新进展[J] .电子器件, 2002 , 25 (1):11 -13 .
[2] 邹泉波, 刘理天, 李志坚.纹膜结构用于电容式硅微麦克风的 研究[J] .半导体学报, 1996 , 17 (12):907 -913 .
[3] Hsu P C , Mastrangeil C H , Wise K D .A High S ensiti vit y Polysili con Diaph ragm Condenser Microphone [A] .1998 MEMS Conf erence [C] .Heidelberg :Taylor & Francis , 1998.25 -29.
[4] 李格.多孔硅结构电镜图象的数学处理[J] .江苏石油化工 学院学报, 2002 , 14 (4):39 -41.

备注/Memo

备注/Memo:
基金资助:江苏省高校自然科学研究计划项目(02KJB140003) 作者简介:袁宁一(1966 -), 女, 江苏南京人, 副教授, 主要从事功能薄膜材料和非常态器件研究。
更新日期/Last Update: 2003-12-25