常州大学学报(自然科学版)
过刊查询页面
关键词中包括
TiN 膜
的文章
1
循环氩离子轰击对等离子体增强化学气相沉积(PECVD)TiN 膜耐腐蚀性能的影响
谢 飞
1
, 何家文
2
2000年02期 [27－30][
摘要
](
1132
)
[
pdf
180KB]
(
352
)
DOI: