常州大学学报(自然科学版)
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TiN 膜
的文章
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循环氩离子轰击对等离子体增强化学气相沉积(PECVD)TiN 膜耐腐蚀性能的影响
谢 飞
1
, 何家文
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2000年02期 [27－30][
摘要
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1087
)
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pdf
180KB]
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324
)
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