常州大学学报(自然科学版)
过刊查询页面
关键词中包括
ASM2D
的文章
1
基于ASM2D的微曝氧化沟工艺模拟与优化
赵颖慧
1,2
,陈 俊
2
,董良飞
1
2019年02期 [67－75][
摘要
](
2395
)
[
pdf
1206KB]
(
756
)
DOI:
10.3969/j.issn.2095-0411.2019.02.009